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2 "alto Vuoto Magnetron Sorgente di Polverizzazione Catodica con Connettore Rapido-HVMSS-SPC-2
Introduzione di magnetron sputtering pistola
IlHVMSS-SPC-2È un 2 "di diametro. Circolare magnetron sputtering pistola che può ospitare un
Vasta gamma di obiettivi di sputtering, come ad esempio metallic/isolante o magnetico/non-magnetico. Il
Circolare di terre rare NdFeB magnete permanente è implementato per garantire un'eccellente uniformità di pellicola
E di destinazione di utilizzo. Ad esempio un sputtering pistola è facile da utilizzare e mantenere. L'installazione è dritto
In avanti e può essere azionato sia con DC o di potenza RF di alimentazione.
Parametri tecnici di magnetron sputtering pistola
Caratteristiche
| Fatto di materiali di alta qualità di acciaio inossidabile e ceramica. Elettromagnetica agli elementi finiti i calcoli sono utilizzati nella progettazione del montaggio per raggiungere di alta intensità di campo magnetico permanente e campo uniforme di profilo. Il magnete è rivestito con materiale di protezione contro la corrosione dell'acqua di raffreddamento per massimizzare la durata nel tempo. Standard di connettore RF, che coincide con una vasta gamma di DC e RF sputtering alimentatori. La bassa impedenza sputtering teste sono facilmente interfaceable con un alimentatore esterno. Facile da installare uno standard di raccordo con inclusoConnettore rapido
2 "di rame Piastra di Supporto (EQ-CBP-2) È incluso. Bersaglio di ricambio è facile e non c' è bisogno di regolare la pistola per adattarsi gli obiettivi con diversa altezza. |
Requisiti di alimentazione | DC (Max.)1000 W RF (Max.)500 W |
Elettrico Tipo di Connessione | Standard HN Connettore Femmina è incluso (DC e RF, Immagine in basso a sinistra) Opzionale SL16 Connettore del cavo 148 centimetri cavo RF è consigliato con costo aggiuntivo |
C (Max.) | |
Dimensioni | Anodo Shield Diametro: 3.5" Lunghezza totale: 14" |
| Diametro: 2.0 "(50.8 millimetri) Spessore: fino a 1/4 "per i non-magnetico bersaglio; fino al 1/16" per bersaglio magnetico Di utilizzo: fino a 30% Magnete: NdFeB della Terra Rara a Magnete |
| Portata: 0.8 GPM Acqua Temperatura di Ingresso: <20 C Acqua tubo: 0.25 "OD. |
Di montaggio | Passante: 3/4 "O. D. tubo |
Peso netto | 3.5 lbs |
Altre foto di magnetron sputtering pistola
Zhengzhou CY Scientific Instrument Co., Ltd. è principalmente impegnata nella ricerca e sviluppo, progettazione,
Produzione e vendita di attrezzature utilizzate in ricerche scientifico. Indipendenza e di innovazione è il
Principio della società. i nostri prodotti principali includono: del forno tubo, muffola, al plasma cleaner, forno a vuoto,
Atmosfera del forno, CVD sistema di e su misura attrezzature di laboratorio. Benvenuto venite a visitare noi.
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